纳西姆真空泵厂家与您分享多级罗茨真空泵的结构及优点
发布日期：2016/11/23 9:44:43阅读次数：次
为了满足以半导体、电子工业为代表的制造工艺对无油的清沽真空的需求，越来越多的干式真空获得设备得以开发及广泛应用。其中干式罗茨直空泵以其抽速大、对作条件要求较宽松等优点在干泵市场中占有重要的地位。而在干式罗茨真空泵当中则是以多级罗茨真空泵为主。
多级罗茨泵通过多级转子的串联实现多个罗茨泵串联的效果，许多串联，所以多级罗茨泵并不能比单级罗茨泵拥有更大的抽速，其理论抽速是取决于第一级的理论抽速。但这种结构却可以使罗茨真空泵达到很高的压缩比。因此多级罗茨泵是可以作为主泵直排大气，而无需再配置前级泵，这样就可以避免前级泵环节给系统带来的油气污染。3~ 6 级的罗茨泵可从大气压抽到极限几力1Pa ，如此高的压力差会使转子过热膨胀，而产生卡死现象。所以要在高压段对转子进行气冷，以控制转子的温度不超过其允许范围。一般的气冷方案是使从各级的排气口排出的气体流经冷却器冷却，再返回到该级的工作腔中。利用冷却气体来冷却转子。但这种冷却方法是要以损失罗茨泵的抽速为代价的，为了防止轴承和齿轮的润滑油向泵腔内返流，多级罗茨泵的泵腔和齿轮箱之间隔开或用迷宫式结构加以密封，为了提高无油的程度，齿轮箱也有另外用真空泵排气的情况。